Medidor de vácuo composto de cátodo frio com display digital de alta precisão MEMS AGP4000

AGP4000 MEMS Display digital de alta precisão de cátodo frio Composto de vácuo Pirani

Utilizações:

• Fabricação de semicondutores: é usado para monitoramento preciso do ambiente de vácuo em processos de fabricação de semicondutores, como revestimento de semicondutores.O controlo preciso do grau de vácuo é crucial para a qualidade e o desempenho dos produtos semicondutores, e o AGP4000 pode fornecer dados de vácuo fiáveis para garantir a estabilidade do processo.
• Campo aeroespacial: nos testes de componentes aeroespaciais e em outros cenários, é necessário simular diferentes ambientes de vácuo para testar o desempenho dos componentes.AGP4000 pode realizar monitoramento de gama completa de baixo vácuo a alto vácuo, fornecendo um importante suporte de dados para a investigação e desenvolvimento aeroespaciais e os ensaios.
• Pesquisa científica de precisão: em pesquisa científica de precisão, como alguns experimentos físicos e químicos que exigem controle de ambiente de vácuo de alta precisão,O AGP4000 pode ajudar os investigadores a obter informações precisas sobre o grau de vácuo, garantindo a precisão e a repetibilidade dos resultados experimentais.
• Aplicações de fornos a vácuo: Para fornos a vácuo, diferentes graus de vácuo são necessários em diferentes estágios do processo.e cooperar com o sistema de controlo para ajustar o grau de vácuo, de modo a assegurar a qualidade do tratamento térmico dos materiais e a vida útil do forno.

Características:

• Medida de grande amplitude e alta precisão: pode atingir uma precisão de monitoramento completa de vácuo baixo a vácuo alto (1×10−6Pa ~ 1×105Pa), cobrindo uma ampla faixa de 6 ordens de magnitude,com um erro de repetibilidade de ≤ ± 5%, e excelente estabilidade a longo prazo, proporcionando uma base de dados fiável para processos-chave.
• Colaboração inteligente de tecnologia dupla: o sistema Pirani funciona durante todo o processo e quando o grau de vácuo é < 10 Pa,O sistema de cátodo frio é ligado automaticamente sem intervenção manual., o que resolve completamente o ponto doloroso da limitação do alcance dos equipamentos tradicionais.
• Forte e Durável: O projeto de cátodo frio não requer um filamento de aquecimento, que tem forte capacidade antipoluição, prolonga muito a vida útil e reduz o custo de manutenção.
• Visualização em cores reais: É equipado com uma tela TFT - LCD em cores de alta definição, que pode exibir dinamicamente o valor de pressão em tempo real,e pode alternar entre três unidades (Pa/Torr/mbar) com uma tecla, e também exibir a temperatura, o estado da comunicação e as marcas de ligação e desligação de alta tensão (aviso de duas cores vermelho/azul), de modo a que os dados sejam claros de uma só vez.
• Saída de modo duplo: possui um sinal analógico linear de 0 ~ 10V, que pode ser conectado diretamente a equipamentos industriais, como PLCs e gravadores, e suporta fórmulas de conversão logarítmica,facilitando a adaptação ao sistemaAo mesmo tempo, tem um protocolo Modbus RTU padrão, que realiza comunicação RS485 através da interface RJ45, suporta rede multi-dispositivo,e é compatível com os sistemas de controlo industriais convencionais, contribuindo para a construção de uma rede inteligente de monitorização do vácuo.
• Instalação simples e operação confiável: É equipado de série com uma flange de aço inoxidável KF25 eletro-polida,que tenha uma excelente hermeticidade e permita a instalação em qualquer direção (recomenda-se a instalação vertical)Possui uma fonte de alimentação de alta tensão (15~30V DC) e um consumo de energia de ≤6W, que pode adaptar-se a ambientes industriais adversos.
• Calibração inteligente e operação conveniente: tem um design de interface baseado em menus de três níveis, suporta comutação chinesa e inglesa, pode definir parâmetros e unidades de comunicação no local,executar 0.1Pa/pressão atmosférica, e mesmo restaurar as configurações de fábrica com uma tecla, o que reduz muito o limiar de operação e manutenção.