YJJ AGP4000H00 MEMS Medidor de vácuo composto de cátodo frio digital de alta precisão Medidor de vácuo Pirani

Descrição do produto:

YJJ AGP4000H00 MEMS Medidor de vácuo composto de cátodo frio digital de alta precisão Medidor de vácuo Pirani

Características:

I. Introdução ao produto

Modelo: AGP4000H00, Medidor de vácuo composto de gama completa, Medidor de condutividade térmica Pirani integrado (medindo vácuo atmosférico a médio) + Medidor de ionização do cátodo frio (medindo vácuo elevado)

Comutação automática de modo duplo, sem necessidade de emparelhamento com dois medidores de vácuo independentes.Também suporta ligação de sinal analógico/digital ao PLC, ecrã táctil, controlador industrial.

Característica distintiva: O ecrã táctil Prophiles AGP4000 é semelhante a este modelo de medidor de vácuo, mas é um produto completamente diferente.

II. Parâmetros essenciais de desempenho

1. Faixa de medição do vácuo (composto de duplo calibre)

Faixa de medição total: 5 × 10−6 Pa 1 × 105 Pa (abrange 6 ordens de magnitude, cobrindo bombeamento áspero, vácuo médio e vácuo alto durante todo o processo)

Período de funcionamento de Pirani: 1×105 Pa 10 Pa (sempre ligado durante todo o processo, monitoramento do vácuo atmosférico ao vácuo médio)

Limite de arranque automático com cátodo frio: < 10 Pa, inicia automaticamente a medição de ionização para vácuo elevado abaixo deste nível de vácuo, sem necessidade de comutação manual

Unidades de medida: Pa / mbar / Torr, três unidades podem ser trocadas de uma vez, com interfaces chinesa e inglesa

2Precisão e estabilidade

Erro de repetibilidade: ≤ ± 5% de leitura

Precisão de medição: ± 30% de leitura em escala completa

Velocidade de resposta: resposta de nível de milissegundo de Pirani; arranque rápido e estável do cátodo frio em alta tensão

Características anti-poluição: o cátodo frio não tem filamento de tungstênio aquecido, não será queimado por vapor de óleo ou poeira de revestimento, tem uma vida útil muito mais longa do que o medidor de ionização do cátodo térmico

3Especificações de alimentação eléctrica

Voltagem de alimentação: CC 15-30V DC de larga amplitude

Consumo total de energia: ≤ 6 W

Interface integrada de comunicação / alimentação: fonte de alimentação integrada RJ45 + RS485

Comunicação digital: Modbus RTU, taxa de baud 4800/9600/19200/115200 ajustável, suporta rede multi-dispositivo (endereço 1~255)

Saída analógica: 0~10V saída de tensão logarítmica, pode ser conectado diretamente a gravadores, módulos analógicos PLC

Quantidade de comutação: 2 relés de alarme programáveis, podem definir um limiar de vácuo alto/baixo para ligar bombas, válvulas e luzes de alarme

4Mecânica, Meio Ambiente, Materiais

Flange de vácuo: flange de libertação rápida KF25 padrão, excelente estanqueidade do ar, suporta qualquer instalação de ângulo

Material de contacto com a cavidade: 304/316 aço inoxidável eletro-polido, adequado para sistemas de vácuo sem óleo, ligeiramente lubrificados com óleo

Intervalo de temperatura de funcionamento: 5°C55°C

Intervalo de temperatura de armazenamento: -20°C ∼70°C

Proteção: vedação de metal da máquina inteira, sonda resistente à poeira e à poluição leve do óleo

Ecrã: exibição a cores micro TFT, exibição em tempo real do valor do vácuo, temperatura interna, estado da comunicação, luzes de aviso de duas cores para vácuo elevado/baixo

III. Princípio de funcionamento

Medidor de Pirani (princípio de condução térmica)

Fios de resistência de aquecimento MEMS internos, as moléculas de gás absorvem calor, quanto maior a pressão, mais rápida a dissipação de calor, menor a temperatura da resistência;O circuito recolhe as alterações de resistência e converte o nível de vácuo atmosférico em 10 Pa, trabalhando continuamente durante todo o processo.

Medidor de ionização do cátodo frio (descarga de paneamento)

Quando o vácuo está abaixo de 10 Pa, carrega automaticamente alta tensão, a ionização do gás gera corrente iónica; quanto maior o vácuo, menor a corrente iónica,Medindo assim o intervalo de vácuo elevado 10Pa~10−6Pa.

A MCU integrada determina automaticamente a faixa de pressão, muda de forma fluida entre dois modos de medição, produz o valor de vácuo uniformemente,Não é necessário equipamento de back-end para executar a comutação lógica do intervalo.

IV. Principais vantagens

A única sonda cobre toda a faixa de vácuo, substituindo a solução tradicional de sonda dupla "Pirani Gauge + Ionization Gauge", reduzindo o custo do equipamento e o espaço de instalação;Cátodo frio sem filamento, não tem medo de impacto atmosférico ou poluição do revestimento, requer pouca manutenção, adequado para produção industrial contínua 24 horas;

Ele vem com uma tela a cores local, permitindo a leitura no local dos valores de vácuo sem um computador superior, tornando a depuração e manutenção convenientes;

Possui também duas saídas analógicas de 0-10V + Modbus digital, compatíveis com telas sensíveis ao toque Proflex, vários PLCs e sistemas de aquisição de controle industrial;

Válvulas de alta tensão DC15~30V, compatíveis com armários de equipamento para alimentação de corrente contínua, forte compatibilidade em locais industriais;

A flange padrão universal KF25 pode combinar diretamente bombas moleculares, bombas mecânicas e tubulações padrão de câmaras de vácuo.

VII. Principais cenários de aplicação

1Equipamento de revestimento a vácuo de semicondutores (aplicação principal)

Máquinas de pulverização por magneto, máquinas de evaporação, revestimento óptico, equipamento de filme condutor ITO

Embalagem de wafer, limpeza por plasma, equipamento de gravação, monitorização de todo o processo de bombeamento grosseiro → curva de processo de alto vácuo

Detecção de fugas na cavidade de vácuo, combinada com equipamento de detecção de fugas de hélio para determinar o ponto de fugas

2Equipamento de laboratório de investigação

Incubadoras anaeróbicas de células, secadoras a vácuo, fornos de sinterização por prensagem a quente

Câmaras de simulação climática, bancos de ensaio de estanqueidade do ar, equipamento de ensaio de envelhecimento a vácuo de materiais

Pesquisa: câmaras experimentais de alto vácuo, monitorização do vácuo de fontes iônicas

3Bateria de lítio, novos equipamentos de produção de energia

Bateria de lítio para cozimento a vácuo, câmara de vácuo de injecção, estação de detecção de fugas de estanqueidade do ar da célula

Sistema de evaporação para desespumação de eletrólitos, equipamento de revestimento a vácuo de eletrodos

4Indústria aeroespacial e de ensaios de precisão

Componentes aeroespaciais, câmaras de ensaio a vácuo a altas e baixas temperaturas, equipamento de simulação do ambiente espacial das naves espaciais

Instrumentos de precisão, sensores, estações de calibração a vácuo

5Equipamento médico de apoio ao vácuo

Câmaras médicas de pressão negativa, equipamento de esterilização a vácuo estéril, máquinas de liofilização de amostras biológicas

Máquinas respiratórias de acompanhamento, controlo de ligação de pressão a vácuo (podem ser combinadas com a ligação do sensor de CO2 ExplorIR-M-5)

6Automatização industrial de vácuo geral

Equipamento de adsorção de pressão negativa a vácuo, máquinas de embalagem a vácuo, controlo de ligação de grupos de bombas a vácuo, arranque-parada automático de bombas mecânicas, bombas moleculares,válvulas de isolamento.

VI. Soluções de interface de suporte (compatíveis com os seus materiais existentes)

Display superior: ecrã táctil AGP4000 Proflex, leitura de valores de vácuo através do Modbus RJ45, execução de curvas, alarme e lógica automática de processo;

Conexão de gás: emparelhado com o sensor de CO2 ExplorIR-M-5, sensor de odor ZP152, realizar monitoramento integrado do vácuo na câmara + concentração de gás;

Máquina médica completa: combinada com a sonda de oxigénio no sangue DS100A, utilizada para o vácuo médico + equipamento integrado de sinais de vida.

Especificações: