Faixa de medição:0~50 SLPM
Repetibilidade:≤ 0,25%
Tempo de resposta:10 ms (padrão)
Faixa:20,5% ~ 95,6% VOLUME
resolução da concentração:0,1% vol
Precisão de Concentração:±1,2% FS
Faixa:20,5% ~ 95,6% VOLUME
resolução da concentração:0,1% vol
Precisão de Concentração:±1,5% FS
Faixa de concentração de O2::20,5% ~ 95,6% VOLUME
resolução da concentração:0,1% vol
Precisão de Concentração:±1,5% FS (5~45°C)
Completo:100 SCCM
Fonte de energia:+15 a +28 VCC (alimentação única)
Sinal:0–5 V analógico; suporta comunicação digital RS485
Princípio de medição:MEMS térmico
Precisão:±(1,5 + 0,2% FS)
Fonte de energia:12–24 VCC
Taxa de fluxo de trabalho recomendada:50 - 1000 mL/min
Dimensões externas:Φ25,6 × 16mm
Peso:4,8 g
Princípio:Sensor de fluxo de massa térmico MEMS
Meio medido:ar, N₂, O₂, Ar, CO₂, etc.
Faixa de fluxo:0 - 50 SLPM
Faixa:0 - 100 SCCM
Precisão:±1,0%SP (≥35%FS)
Repetibilidade:±0,2%FS
MF5012:DN12mm
N4F:N = rosca NPT
Pressão operacional máxima:1,5 MPa
Faixa de fluxo:2–16 L/min
Precisão:±3% FS; Repetibilidade: <2% FS
Fonte de energia:18–28 VCC
Completo:500 ml/min
Precisão:± 3% F.S.
Repetibilidade:00,5% F.S.