AWM42300V Sensor de fluxo de ar de massa de gás de micro-ponte para saída analógica de gás seco

Descrição do produto:

AWM42300V Sensor de fluxo de ar de massa de gás de micro-ponte para saída analógica de gás seco

Características:

Sensor de fluxo de massa de gás da série AWM40000, não amplificado (mV), faixa de fluxo/pressão: ± 1000 SCCM (1,0 SLPM);Tipo de interface: Manifold.

operação

O princípio do sensor de fluxo de massa de gás microbridge é a transferência de calor.A taxa de fluxo de massa do gás é guiada através da superfície do elemento de detecção.A tensão de saída é proporcional à massa de ar ou de outro gás que flui através da entrada e saída do pacote.Um invólucro especialmente concebido dirige e controla de forma óptima o fluxo de ar através dos elementos de detecção microestruturados.O pacote é concebido mecanicamente para ser facilmente montado numa placa de circuito impresso.

O sensor de fluxo de massa de gás microbridge contém um chip de silício avançado baseado em tecnologia de microstrutura avançada.O chip usa uma película fina e uma estrutura de ponte adiabática com um elemento de aquecimento e sensor de temperatura.A estrutura da ponte pode responder rápida e sensivelmente ao fluxo de ar de ar ou outros gases que fluem através do chip.Os elementos de detecção dupla situados em ambos os lados do elemento de aquecimento central indicam igualmente a direcção e a taxa de fluxo.O filme grosso e a resistência do filme corrigidos por laser garantem uma intercâmbio consistente de sensor para sensor em todos os momentos.

Os sensores de fluxo de massa de gás de microbridge utilizam resistores térmicos envoltos em filmes de nitruro de silício.Estes resistores são suspensos, formando duas pontes acima da cavidade de gravação do chip de silício.O chip é colocado em um canal de fluxo de ar de tamanho *** para fornecer uma resposta de fluxo repetível.Ao gravar a cavidade sob a ponte de detecção de fluxo, o aquecedor e o resistor de detecção podem obter um isolamento térmico eficiente.O pequeno tamanho e a função de isolamento térmico do sensor de fluxo de massa de gás microbridge permitem a resposta de velocidade máxima e uma alta sensibilidade ao fluxo de ar.

Wheatstone Twin Bridges controla a medição do fluxo de ar - um fornece controle de aquecimento de circuito fechado e o outro contém elementos de detecção dupla.O circuito do aquecedor reduz a variação de saída causada por alterações da temperatura ambiente, proporcionando uma saída proporcional ao caudal de massa.Este circuito mantém a temperatura do aquecedor numa diferença de temperatura constante acima da temperatura ambiente (160°C), que é determinada pela medição da resistência térmica no chip.A saída do dispositivo é proporcional à tensão de alimentação e também corresponde à tensão diferencial do circuito de ponte Wheatstone.

Especificações: