YJJ AS200 MFC de aço inoxidável controlador de fluxo de massa de gás de alta precisão

Descrição do produto:

YJJ AS200 MFC de aço inoxidável controlador de fluxo de massa de gás de alta precisão

Características:

Controlador de fluxo de massa de gás da série AS200

Fornece software de computador superior baseado em cliente e livre e poderoso

O controlador de fluxo de massa de gás da série AS200 é adequado para vários gases convencionais, melhorando a precisão e a fiabilidade dos resultados de medição do controlo de fluxo de massa de gás.A precisão de repetibilidade é até 00,2% F.S.;

A baixa taxa de fuga de 1x10-0 Pa·m3/sec He, boa estanqueidade do ar, garantindo a segurança da produção; Pode suportar múltiplas saídas de sinal, incluindo sinais digitais, sinais analógicos 1-5V,e sinais analógicos de 4 a 20 mA, que pode utilizar uma única fonte de alimentação (+15~+28VDC), adequada para diferentes cenários de trabalho;O protocolo de comunicação aberto padrão facilita que os clientes desenvolvam independentemente software de controlo e aquisiçãoAo mesmo tempo, o produto também fornece software de computador superior baseado em cliente livre e poderoso, facilitando a depuração e operação do usuário.

Os produtos da série AS200 são desenvolvidos pela Aosong Electronics usando tecnologia MEMS avançada.As tecnologias de base foram adoptadas para garantir o elevado desempenhoÉ um instrumento de alta qualidade com boa estabilidade, alta precisão, baixa taxa de fuga e alta resistência à pressão.

O controlador de fluxo de massa de gás (MFC) da série AS200 é utilizado principalmente para controlo e medição precisos do fluxo de massa de gás.A AS200 desempenha um papel importante na investigação e produção em vários domínios, como a tecnologia de circuitos integrados de semicondutoresA sua aplicação é caracterizada por: equipamentos de processamento de circuitos integrados,como a epitaxia, difusão, gravação plasmática, pulverização, implantação de íons e vários equipamentos de CVD; outros equipamentos industriais, tais como fusão de fibras ópticas, dispositivos de micro reação,Sistemas de mistura de gás e de distribuição de gás, dispositivos de amostragem de gases, instrumentos de medição capilar, cromatógrafos de gases e outros instrumentos analíticos.

Controlador de fluxo de massa de gás

Fonte de alimentação: 15 - 24 V DC (unipol)

Faixa de medição: 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/min

0.03 - 3, 0.05 - 5, 0.1 - 10, 0.2 - 20,

0.3 - 30, 0,5 - 50 SLM/min

Precisão de repetibilidade: ±0,2% da escala completa

Tempo de resposta: 1 segundo

Ambiente de funcionamento: 5 - 45°C

Tamanho: 112,8 * 38 * 115 mm

Especificações: