YJJ AS200A008C100CJCC Controlador de fluxo de massa de gás MFC - Medidor de fluxo de gás de alta precisão

Descrição do produto:

YJJ AS200A008C100CJCC Controlador de fluxo de massa de gás MFC - Medidor de fluxo de gás de alta precisão

Características:

Controlador de fluxo de massa de gás série AS200

Fornece poderoso software de computador superior gratuito baseado em cliente

O controlador de fluxo de massa de gás da série AS200 é adequado para vários gases convencionais, melhorando a precisão e a confiabilidade dos resultados de medição do controle de fluxo de massa de gás. A precisão da repetibilidade é de até 0,2% FS;

A baixa taxa de vazamento de 1x10-0 Pa·m3/seg He, boa estanqueidade ao ar, garantindo a segurança da produção; Ele pode suportar múltiplas saídas de sinal, incluindo sinais digitais, sinais analógicos de 1-5V e sinais analógicos de 4-20mA, que podem usar uma única fonte de alimentação (+15~+28VDC), adequada para diferentes cenários de trabalho; O protocolo de comunicação aberto padrão oferece conveniência para os clientes desenvolverem software de controle e aquisição de forma independente; Ao mesmo tempo, o produto também fornece um poderoso software de computador superior gratuito baseado em cliente, facilitando a depuração e operação do usuário.

Os produtos da série AS200 são desenvolvidos pela Aosong Electronics usando tecnologia MEMS avançada. Em muitos aspectos, como acionamento de sensores, controle de desvio zero e controle de válvulas, tecnologias essenciais foram adotadas para garantir alto desempenho, alta qualidade e alta confiabilidade dos produtos. É um instrumento de alta qualidade com boa estabilidade, alta precisão, baixa taxa de vazamento e alta resistência à pressão.

O controlador de fluxo de massa de gás (MFC) da série AS200 é usado principalmente para controle e medição precisos do fluxo de massa de gás. AS200 desempenha um papel importante na pesquisa e produção em vários campos, como tecnologia de circuitos integrados de semicondutores, materiais especiais, indústria química, indústria petrolífera, medicina, proteção ambiental e vácuo. Seus cenários de aplicação típicos incluem: equipamentos de processo de circuito integrado, como epitaxia, difusão, gravação de plasma, pulverização catódica, implantação de íons e diversos equipamentos de CVD; outros equipamentos industriais, como fusão de fibra óptica, dispositivos de microrreação, mistura de gases e sistemas de distribuição de gases, dispositivos de amostragem de gases, instrumentos de medição capilar, cromatógrafos gasosos e outros instrumentos analíticos.

Controlador de fluxo de massa de gás

Fonte de alimentação: 15 - 24V DC (pólo único)

Faixa de medição: 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/min

0,03 - 3, 0,05 - 5, 0,1 - 10, 0,2 - 20,

0,3 - 30, 0,5 - 50 SLM/min

Precisão de repetibilidade: ±0,2% da escala completa

Tempo de resposta: 1 segundo

Ambiente operacional: 5 - 45℃

Tamanho: 112,8*38*115mm

Especificações: