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Detalhes do produto:
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| Completo: | 100 SCCM | Fonte de energia: | +15 a +28 VCC (alimentação única) |
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| Sinal: | 0–5 V analógico; suporta comunicação digital RS485 | Precisão: | ±1% FS; Repetibilidade: ±0,2% FS |
| Destacar: | Controlador de Fluxo de Massa de Gás para fabricação de semicondutores,Sensor de fluxo de ar médico com garantia,AS200A008C100CJCC Controlador de Fluxo |
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AS200A008C100CJCC Controlador de Fluxo de Massa de Gás para Processo de Fabricação de Semicondutores
Aplicações Típicas
Processamento de semicondutores, CVD, sistemas de distribuição de gás, controle de gás de laboratório, instrumentos analíticos, etc.
Especificação:
| Taxa de vazamento | 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (He) |
| Resistência à pressão | 3 MPa |
| Série de Produtos AS200 | Controlador de Fluxo de Massa de Gás MEMS |
| A (Tipo de Vedação) | A = Vedação de borracha; Sinal: entrada/saída analógica de 0-5V |
| 008 (Código do Gás) | 008 corresponde ao gás especificado |
| C (Unidade de Faixa) | C = SCCM (Centímetros Cúbicos Padrão por Minuto) |
| 100 (Escala Completa) | 100 SCCM |
| CJCC | Sufixo para combinação de interface, tipo de válvula, elétrico e conexão |
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Pessoa de Contato: Xu
Telefone: 86+13352990255